Електронно променеве випаровування металів та сплавів

Установки «УВН ЭИП 17/4-001» для термічного осадження плівок:
Al, Cu, Ti, Ni, Mo, TiN, SiT, SiTa, SiMo, SiN, SiO2

• Кількість установок: 4 шт.
• Товщина напилення: 10нм–3 мкм.
• Напилення на підкладки: Si, сапфір, кварц, скло, GaAs
• Діаметр пластин: 2–6 дюйми.
• Якість плівок: полі- та монокристалічні.

• Процеси проводяться у вакуумі при тиску
   ~ 5×10-5–8×10-6 мм.рт.ст.
• Чистота матеріалу: 99,999 %.
• Температура: попередній нагрів підкладинок до 400 °C.
• Проведення процесів в середовищі: Ar, N2, He.
• Кількість пластин протягом одного тех. процесу: 10–25.
• Установка оснащена генератором ВЧГИ 4/27.
• Споживана потужність 5 кВт.

Потрібна модернізація:
• Електронно-променевої гармати;
• Системи подачі газів.
• Зміна насосу на турбомолекулярний;
• Програмне забезпечення для автоматизації процесу росту;
• Локальна мережа для резервування системи.

Для значного покращення якості плівок потрібна купівля турбомолекулярного насосу

Сумма, потрібна на модернізацію 7.000 USD