Дифузійно-окислювальні процеси

Дифузійні печі для окислювальних процесів, відпалювання та дифузії P, B, As і т.ін.
Кількість установок: 7 печей (21 реактор)
Діаметр пластин: до 5˝
Температури: 300–1250°С
Відпалювання проводяться при температурах: 300–400°С
Проведення процесів в середовищі: Ar, N2, H2, O2, BBr3, PCl3.
Товщина окислу: від 30 нм до 1 мкм.
Кількість пластин протягом одного тех. процесу: 50 пластин в одному реакторі.
До установок додані прилади для контролю якості пластин (електрофізичні параметри, контроль товщин плівок).