Відділ інтегральних схем

Володимир Павлович Сидоренко

К.т.н.,
Керівник відділу

Олександр
Іванович
Радкевич

К.т.н.,
Директор НДІ МП
radkevich@imd.org.ua

Юрій
Васильович
Таякін

Науковий співробітник

Таїсія
Михайлівна Вірозуб

Провідний інженер технолог

Леонід
Георгійович Ковальов

Керівник лабораторії фотошаблонів

Дмитро Сергійович Мурченко

Старший науковий співробітник

Юрій
Іванович Плашенко

Провідний інженер з електроніки

Юрій Володимирович Прокоф’єв

Старший науковий співробітник

Опис відділу

 

Основний напрямок роботи – створення великих інтегральних схем (ВІС) і приладів на їх основі. За час роботи відділу (починаючи з 1974 року), було проведено сотні дослідно-конструкторських і науково-дослідних робіт по розробці широкої номенклатури великих та надвеликих інтегральних схем (ВІС/НВІС) (більше 150 типономіналів) як спеціалізованих, так і для масового виробництва, в тому числі були одержані перші і на той час найбільші по ступеню інтеграції в СРСР і Європі ВІС для мікрокалькуляторів.

Наразі, основні напрямками наукової та виробничої діяльності зосереджені нарозробках, виготовленню та впровадженню:
• Інтегральних схем;
• Фотомаск;
• Гнучких підкладок (алюміній-поліімід) для мікро- і нано
   (опто)електронніки.

Відділ накопичив необхідні науково-технічні можливості та досвід для:
• розробки та виготовлення фотошаблонів;
• складання чіпів;
• вимірювання електричних параметрів ІС;
• Розробка та дослідження НВЧ монолітних BIC;
• виготовлення дослідних зразків мікроелектронних координатно-чутливих детекторів заряджених частинок для спектроскопії;
• виготовлення BIC на основі КМОП-технології;
• розробка кремнієвих КМОП топології інтегральної схеми (ІС).
 

Останнім часом була розроблена і виготовлена спеціалізована ВІС і на її основі багатоканальний мікроелектронний координатно-чутливий детектор (МКЧД) для приладів елементного аналізу речовин, який дає можливість проведення аналізу в реальному масштабі часу з високою чутливістю (зафіксовано ізотоп сурми, атомна концентрація якого складала усього 0,0006%) і проводити одночасний аналіз всього діапазону аналізуємого спектру. Прилади успішно використовуються в Інституті прикладної фізики НАНУ в складі лазерного мас-спектрометра і підтверджують свої високі технічні характеристики. Зараз у відділі проводяться роботи по розробці МКЧД нового покоління з розширенним діапазоном аналізу, що дозволить значно скоротити час аналізу всього спектру елементів. Використання приладів МКЧД для спектрометрії дозволяє створювати на їх основі сучасні прилади для спектрометрії, які знайдуть широке використання в багатьох галузях промисловості і наукових дослідженнях, в тому числі гірничодобувній, металургійній, харчовій, хімічній, фармацевтичній, атомній енергетиці, космічних дослідженнях, при виробництві ракетного палива, вибухових речовин, створенні наноматеріалів.