Відділ інтегральних схем

Володимир Павлович Сидоренко

К.т.н.,
Керівник відділу

Таїсія
Михайлівна Вірозуб

Провідний інженер технолог

Леонід
Георгійович Ковальов

Керівник лабораторії фотошаблонів

Дмитро Сергійович Мурченко

Старший науковий співробітник

Юрій
Іванович Плашенко

Провідний інженер з електроніки

Юрій Володимирович Прокоф’єв

Старший науковий співробітник

Опис відділу

 

Основний напрямок роботи – створення великих інтегральних схем (ВІС) і приладів на їх основі. За час роботи відділу (починаючи з 1974 року), було проведено сотні дослідно-конструкторських і науково-дослідних робіт по розробці широкої номенклатури великих та надвеликих інтегральних схем (ВІС/НВІС) (більше 150 типономіналів) як спеціалізованих, так і для масового виробництва, в тому числі були одержані перші і на той час найбільші по ступеню інтеграції в СРСР і Європі ВІС для мікрокалькуляторів.

Наразі, основні напрямками наукової та виробничої діяльності зосереджені нарозробках, виготовленню та впровадженню:
• Інтегральних схем;
• Фотомаск;
• Гнучких підкладок (алюміній-поліімід) для мікро- і нано
   (опто)електронніки.

Відділ накопичив необхідні науково-технічні можливості та досвід для:
• розробки та виготовлення фотошаблонів;
• складання чіпів;
• вимірювання електричних параметрів ІС;
• Розробка та дослідження НВЧ монолітних BIC;
• виготовлення дослідних зразків мікроелектронних координатно-чутливих детекторів заряджених частинок для спектроскопії;
• виготовлення BIC на основі КМОП-технології;
• розробка кремнієвих КМОП топології інтегральної схеми (ІС).
 

Останнім часом була розроблена і виготовлена спеціалізована ВІС і на її основі багатоканальний мікроелектронний координатно-чутливий детектор (МКЧД) для приладів елементного аналізу речовин, який дає можливість проведення аналізу в реальному масштабі часу з високою чутливістю (зафіксовано ізотоп сурми, атомна концентрація якого складала усього 0,0006%) і проводити одночасний аналіз всього діапазону аналізуємого спектру. Прилади успішно використовуються в Інституті прикладної фізики НАНУ в складі лазерного мас-спектрометра і підтверджують свої високі технічні характеристики. Зараз у відділі проводяться роботи по розробці МКЧД нового покоління з розширенним діапазоном аналізу, що дозволить значно скоротити час аналізу всього спектру елементів. Використання приладів МКЧД для спектрометрії дозволяє створювати на їх основі сучасні прилади для спектрометрії, які знайдуть широке використання в багатьох галузях промисловості і наукових дослідженнях, в тому числі гірничодобувній, металургійній, харчовій, хімічній, фармацевтичній, атомній енергетиці, космічних дослідженнях, при виробництві ракетного палива, вибухових речовин, створенні наноматеріалів.